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本文標(biāo)題:光學(xué)光源設(shè)計(jì)，對(duì)準(zhǔn)儀的燈常在工作時(shí)用電扇冷卻

信息分類(lèi):技術(shù)資訊　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2017-9-30 1:10:43

光學(xué)光源設(shè)計(jì)，對(duì)準(zhǔn)儀的燈常在工作時(shí)用電扇冷卻

　　光學(xué)光刻

　　然而，實(shí)際系統(tǒng)比這些簡(jiǎn)單的敘述復(fù)雜得多。光源不是一個(gè)點(diǎn)，而

是一有限體積。它也會(huì)發(fā)射許多波長(zhǎng)。光通過(guò)透鏡／反射鏡組合被收集

。每一光學(xué)元件會(huì)有某些缺陷，如局部畸變和色差。掩模本身也會(huì)反射

、吸收和相移入射的輻照。

　　在圓片表面的反射進(jìn)一步使事情復(fù)雜化。結(jié)果，圓片表面產(chǎn)生的圖

形(實(shí)像)只可能是數(shù)值近似。盡管這樣，還需要很復(fù)雜的軟件。可以買(mǎi)

到幾種進(jìn)行這樣計(jì)算的商用程序。以下幾節(jié)將提出一些簡(jiǎn)單的近似，可

用于替代實(shí)像光強(qiáng)更精確的計(jì)算而確定分辨率。

　　燈的第二個(gè)光源是汞原子本身，與高能電子的碰撞，推動(dòng)汞原子的

電子進(jìn)入能帶的高能態(tài)。當(dāng)它們回到低能態(tài)時(shí)，它們發(fā)射出光的波長(zhǎng)相

應(yīng)于其能量躍遷。這些光發(fā)射線譜非常尖銳，所以可用于確定等離子體

中的主要產(chǎn)生物。典型的汞燈線光譜。這些線按它們的能

量命名。對(duì)準(zhǔn)機(jī)常常過(guò)濾掉除了一條單線外的全部線。

　　在工作時(shí)，高能汞離子轟擊負(fù)電極。此時(shí)，它們通過(guò)稱(chēng)為濺射(spu

ttering)的物理過(guò)程，打出少量的電極材料。一些濺射出的電極材料涂

敷在石英玻璃殼的內(nèi)壁。而且，燈內(nèi)壁表面的高溫會(huì)使石英玻璃慢慢失

透，留下白霧狀形貌。濺射與失透結(jié)合一起減弱了輸出強(qiáng)度。附加的吸

收能量使燈外殼更熱。最后，燈常常由于爆裂而失效，這會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞對(duì)

準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)。因此，對(duì)準(zhǔn)機(jī)的燈通常在工作時(shí)用電扇冷卻，而且在使用

一定小時(shí)數(shù)后更換。

　　簡(jiǎn)單的光學(xué)光源設(shè)計(jì)，當(dāng)然不很實(shí)用。只有很小部分燈的輻照能到

達(dá)圓片上。除非圓片是球形的(不是通常所希望有的條件)，否則表面的

功率密度會(huì)是不均勻的。因此，光源光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)有四個(gè)主要目標(biāo)。第

一個(gè)是收集盡可能多的光輻照。沒(méi)有這樣的收集，曝光時(shí)間會(huì)不可實(shí)用

的長(zhǎng)。第二個(gè)目標(biāo)是要使整個(gè)曝光場(chǎng)輻照強(qiáng)度均勻，以避免圓片某些部

分過(guò)度曝光，而另外的區(qū)域則曝光不足。第三個(gè)目標(biāo)是使輻照準(zhǔn)直和成

形達(dá)到所需要的程度。通常，并不希望完全平行準(zhǔn)直，常常應(yīng)用小角度

的發(fā)散光來(lái)代替。