本文標題:顯微鏡中電子顯微鏡的真空系統
信息分類:站內新聞 新聞來源：未知 發布時間：2014-4-17 10:50:03
顯微鏡中電子顯微鏡的真空系統
電子顯微鏡的真空系統包括機械真空泵、擴散泵和真空閥門三部
分，并通過抽氣管道與鏡筒相聯接。
電源柜由高壓發生器、勵磁電流穩流器和各種調節控制單元組成。
電子透鏡是電子顯微鏡鏡筒中的關鍵部件。
現代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由穩定的直流勵磁電流通過帶
極靴的線圈產生的強磁場使電子聚焦。
電子槍的作用是發射并形成速度均勻的電子束，由陰極、柵極和陽
極構成。
陰極管發射的電子通過柵極上的小孔形成射線束，經陽極電壓加速
后射向聚光鏡，起到對電子束加速、加壓的作用。
使用中加速電壓的穩定度要求不低于萬分之一。 電子顯微鏡按結
構和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電
子顯微鏡和發射式電子顯微鏡等。
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